Требования по количеству взвешенных частиц определенного размера в чистом помещении определяют класс этого помещения. В настоящее время общепринятой является классификация в соответствии с ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
Таблица 1. — Классы чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон (ГОСТ ИСО 14644-1-2002)
Класс N ИСО (N — классификационное число) |
Максимально допустимые концентрации частиц, частиц/м, с размерами, равными или большими следующих значений, мкм | |||||
0.1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1.0 | 5.0 | |
Класс 1 ИСО | 10 | 2 | — | — | — | — |
Класс 2 ИСО | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — |
Класс 3 ИСО | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — |
Класс 4 ИСО | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
Класс 5 ИСО | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
Класс 6 ИСО | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
Класс 7 ИСО | — | — | — | 352000 | 83200 | 2930 |
Класс 8 ИСО | — | — | — | 3520000 | 832000 | 29300 |
Класс 9 ИСО | — | — | — | 35200000 | 8320000 | 293000 |
Примечание. Из-за неопределенности, связанной с процессом счета частиц, при классификации следует использовать значения концентрации, имеющие не более трех значащих цифр.
Помимо этого, в ряде отраслей промышленности, применяющих технологии чистых помещений, используется классификация отраслевых стандартов (например, ГОСТ Р 52249-2009 для фармацевтической промышленности), либо устаревших стандартов (например, ВПК зачастую применяет классификацию, аналогичную американскому стандарту FS 209D). Ниже в таблице приведено соотношение классификаций различных стандартов по чистым помещениям.
Таблица 2. Соотнесение классификации чистых помещений и зон отраслевых стандартов с определяющим стандартом ГОСТ ИСО 14644
ГОСТ ИСО 14644-1-2002 | Стандарт США FS 209 D | ОСТ 11.14.3302 | ГОСТ Р 52249-2009* |
Класс 1 ИСО | — | — | — |
Класс 2 ИСО | — | — | — |
Класс 3 ИСО | 1 | 1 | — |
Класс 4 ИСО | 10 | 10 | — |
Класс 5 ИСО | 100 | 100 | A, B |
Класс 6 ИСО | 1000 | 1000 | — |
Класс 7 ИСО | 10000 | 10000 | С |
Класс 8 ИСО | 100000 | 100000 | D |
Класс 9 ИСО | — | — | — |
* — Чистые помещения и чистые зоны следует классифицировать по ГОСТ ИСО 14644-1